マイクロコイルを用いた材料診断技術の開発に関する研究(第1報) : 厚膜フォトレジスト転写条件の最適化に対する品質工学の適用

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13762714

Material type: 記事

Author: 問山清和ほか

Publisher: 広島県

Publication date: 2001-09

Material Format: Digital

Journal name: 広島県立西部工業技術センター研究報告 2001(44)

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Digital

Material Type: 記事
Title: マイクロコイルを用いた材料診断技術の開発に関する研究(第1報) : 厚膜フォトレジスト転写条件の最適化に対する品質工学の適用
Author/Editor: 問山清和
山下弘之
縄稚典生
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 広島県
Publication Date: 2001-09
Publication Date (W3CDTF): 2001-09
Alternative Title: Development of new technique for material testing using microcoil (1st report) : optimization of operating condition for lithographing thick photoresists using Taguchi Method
Periodical title: 広島県立西部工業技術センター研究報告
No. or year of volume/issue: 2001(44)
Volume: 2001(44)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13762714
https://dl.ndl.go.jp/pid/13762714
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 地方公共団体 > 都道府県 > 広島県
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00080
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2024-10-10T14:05:20+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2024-03-08
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/13381185/www.pref.hiroshima.lg.jp/soshiki/27/1191224396526.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/13762710
https://dl.ndl.go.jp/pid/13762710
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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