多重磁極マグネトロンスパッタ法におけるイオン照射効果向上のためのプラズマ照射機能を付加した簡易成膜基板の検討

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605213

Material type: 記事

Author: 藤原駿ほか

Publisher: 電気・情報関連学会中国支部連合大会

Publication date: 2025

Material Format: Digital

Journal name: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集 2025年度(76)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 多重磁極マグネトロンスパッタ法におけるイオン照射効果向上のためのプラズマ照射機能を付加した簡易成膜基板の検討
Author/Editor: 藤原駿
豊田宏
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 電気・情報関連学会中国支部連合大会
Publication Date: 2025
Publication Date (W3CDTF): 2025
Alternative Title: Examination of effect on ion irradiation by property evaluation of Co thin films on a glass substrate prepared using magnetron sputtering with multipolar magnetic confinement
Periodical title: 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集
No. or year of volume/issue: 2025年度(76)
Volume: 2025年度(76)
Text Language Code: jpn
Note (General): 出版日は収集年による
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/14605213
https://dl.ndl.go.jp/pid/14605213
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: オンライン資料収集制度
Date Accepted (W3CDTF): 2025-12-22T10:34:57+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2025-12-22
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/14611231
https://dl.ndl.go.jp/pid/14611231
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp

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