半導体集積回路におけるアルミニウム合金多層配線の研究
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Table of Contents
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目次
第1章 緒言
p1
第2章 Al合金配線の物理､化学特性の変化
p6
2.1)Al合金配線のアフターコロージョン
p6
2.2)Al合金配線の応力による断線不良
p14
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ シュウセキ カイロ ニ オケル アルミニウム ゴウキン タソウ ハイセン ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 真弓周一 [著]
- Author Heading
- 真弓, 周一 マユミ, シュウイチ
- Degree Grantor
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成4年2月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 乙第5651号
- Degree Type
- 工学博士