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博士論文

クリーンルーム内の気流及び塵埃挙動解析に関する研究

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クリーンルーム内の気流及び塵埃挙動解析に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-Y426
Bibliographic ID of National Diet Library
000000292090
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3107374
Material type
博士論文
Author
都築浩一 [著]
Publisher
-
Date granted
平成7年3月23日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
筑波大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 要旨

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 クリーンルームの清浄度

    p1

  • 1.2 クリーンルームの概要

    p3

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
クリーンルーム内の気流及び塵埃挙動解析に関する研究
Title Transcription
クリーン ルームナイ ノ キリュウ オヨビ ジンアイ キョドウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
都築浩一 [著]
Author Heading
都築, 浩一 ツズキ, コウイチ
Degree Grantor
筑波大学
Date Granted
平成7年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
乙第1088号
Degree Type
博士 (工学)