シリコンウェーハの電気的特性評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコンウェーハの電気的特性評価に関する研究
• Title Transcription: シリコン ウェーハ ノ デンキテキ トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 村上義男 [著]
• Author Heading: 村上, 義男 ムラカミ, ヨシオ
• Degree Grantor: 早稲田大学
• Date Granted: 平成10年10月15日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第1396号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-M535
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000337985; http://id.ndl.go.jp/bib/000000337985
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3152794; https://doi.org/10.11501/3152794
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3152794; https://dl.ndl.go.jp/pid/3152794
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-05T17:23:19+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-99-M535
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

目次

第1章､序論

1-1､研究の背景―LSIデバイスの信頼性に要求される結晶起因の電気的特性―

1-2､シリコンプロセスの概要

1-3､シリコン半導体の電気的特性評価法の概要