大口径基板対応量産型MOCVD装置UR25Kの開発

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3513042

Material type: 記事

Author: 池永和正ほか

Publisher: 大陽日酸

Publication date: 2009-11-30

Material Format: Digital

Journal name: 大陽日酸技報 (28)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: 大口径基板対応量産型MOCVD装置UR25Kの開発
Author/Editor: 池永和正
山本淳
山口晃
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 大陽日酸
Publication Date: 2009-11-30
Publication Date (W3CDTF): 2009-11-30
Extent: 容量 : tnscgiho28_03.pdf(1277363bytes)
Alternative Title: Development of 4 inch x 11 (or 6 inch x 6) multi-wafer MOCVD system "UR25K
Periodical title: 大陽日酸技報
No. or year of volume/issue: (28)
Volume: (28)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3513042
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513042
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2012-07-26T01:08:01+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2011-01-18
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/1284606/www.tn-sanso-giho.com/report28.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3513039
https://dl.ndl.go.jp/pid/3513039
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp