特集論文 高密度塩素プラズマで低温、低損傷プロセスを可能にした金属成膜装置

• Material Type: 記事
• Title: 特集論文 高密度塩素プラズマで低温、低損傷プロセスを可能にした金属成膜装置
• Author/Editor: 坂本仁志; 小椋謙; 大庭義行
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 三菱重工業
• Publication Date: 2005-01
• Publication Date (W3CDTF): 2005-01
• Extent: 容量 : 421048.pdf(111122bytes)
• Alternative Title: Low-temperature and low-damage metal CVD with high-density Cl2 plasma
• Periodical title: 三菱重工技報
• No. or year of volume/issue: 42(1)
• Volume: 42(1)
• Text Language Code: jpn
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3527790; https://dl.ndl.go.jp/pid/3527790
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• Date Accepted (W3CDTF): 2012-08-23T01:02:12+09:00
• Date Captured (W3CDTF): 2009-11-04
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/508710/www.mhi.co.jp/technology/review/indexj-42-1.html
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3527765; https://dl.ndl.go.jp/pid/3527765
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp