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電子書籍・電子雑誌表面科学 : 日本表面科学会誌
Volume number23 (2)
分子動力学法によるシ...

分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング

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分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング

Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/8327187
Material type
記事
Author
渡邉孝信ほか
Publisher
日本表面科学会
Publication date
2002-02
Material Format
Digital
Journal name
表面科学 : 日本表面科学会誌 23(2)
Publication Page
-
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Bibliographic Record

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Digital

Material Type
記事
Author/Editor
渡邉孝信
辰村光介
大泊巖
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-02
Publication Date (W3CDTF)
2002-02
Alternative Title
Large-scale modeling of silicon-dioxide films by means of molecular dynamics
Periodical title
表面科学 : 日本表面科学会誌
No. or year of volume/issue
23(2)
Volume
23(2)