高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の構造と熱的安定性

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8327375

Material type: 記事

Author: 三上尊正ほか

Publisher: 日本表面科学会

Publication date: 2003-07

Material Format: Digital

Journal name: 表面科学 : 日本表面科学会誌 24(7)

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Digital

Material Type: 記事
Title: 高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の構造と熱的安定性
Author/Editor: 三上尊正
中澤日出樹
遠田義晴
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日本表面科学会
Publication Date: 2003-07
Publication Date (W3CDTF): 2003-07
Alternative Title: Structure and thermal stability of the chemical bondings of diamond-like carbon(DLC) films prepared by RF magnetron sputtering
Periodical title: 表面科学 : 日本表面科学会誌
No. or year of volume/issue: 24(7)
Volume: 24(7)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8327375
https://dl.ndl.go.jp/pid/8327375
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2013-10-19T02:33:07+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2008-01-26
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/274949/www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol24/24-07/24-07.htm
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8327370
https://dl.ndl.go.jp/pid/8327370
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp