酸素非含有金属コバルト膜形成のための原料および添加剤の検討

• Material Type: 記事
• Title: 酸素非含有金属コバルト膜形成のための原料および添加剤の検討
• Author/Editor: 清水秀治; 迫田薫; 霜垣幸浩
• Publication, Distribution, etc.: 日本 : 大陽日酸
• Publication Date: 2011-12-02
• Publication Date (W3CDTF): 2011-12-02
• Alternative Title: Selection of precursors and reducing reagents for deposition of oxygen-free cobalt film
• Periodical title: 大陽日酸技報
• No. or year of volume/issue: (30)
• Volume: (30)
• Text Language Code: jpn
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8377660; https://dl.ndl.go.jp/pid/8377660
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• Date Accepted (W3CDTF): 2013-12-03T12:31:06+09:00
• Date Captured (W3CDTF): 2011-12-15
• Format (IMT): application/pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3193686/www.tn-sanso-giho.com/report30.html
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8377656; https://dl.ndl.go.jp/pid/8377656
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp