半導体デバイスへの三次元検査解析の現状と展望 : 新計測・解析技術によるSmart Root Cause Analysisへの取り組み

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8675360

Material type: 記事

Author: 杉本有俊ほか

Publisher: 日立評論社

Publication date: 2006-03

Material Format: Digital

Journal name: 日立評論 88(3)

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Bibliographic Record

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Digital

Material Type: 記事
Title: 半導体デバイスへの三次元検査解析の現状と展望 : 新計測・解析技術によるSmart Root Cause Analysisへの取り組み
Author/Editor: 杉本有俊
見坊行雄
渡辺健二
Publication, Distribution, etc.: 日本 : 日立評論社
Publication Date: 2006-03
Publication Date (W3CDTF): 2006-03
Alternative Title: Current status and future prospects of 3 dimentional inspection and analysis for semiconductor devices
Periodical title: 日立評論
No. or year of volume/issue: 88(3)
Volume: 88(3)
Text Language Code: jpn
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8675360
https://dl.ndl.go.jp/pid/8675360
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
Acquisition Basis: インターネット資料収集保存事業（WARP）
Date Accepted (W3CDTF): 2014-06-10T02:23:32+09:00
Date Captured (W3CDTF): 2009-10-29
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: インターネット公開
Availability of remote photoduplication service: 不可
Periodical Title (URI): https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/286174/www.hitachihyoron.com/2006/03/03b02.html
Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8675351
https://dl.ndl.go.jp/pid/8675351
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp