中性粒子ビームエッチングの損傷除去効果によるMEMS振動子の特性改善

• Material Type: 博士論文
• Title: 中性粒子ビームエッチングの損傷除去効果によるMEMS振動子の特性改善
• Author/Editor: 西森, 勇貴
• Author Heading: 西森, 勇貴
• Publication, Distribution, etc.: 静岡大学
• Publication Date: 2013-06-01
• Publication Date (W3CDTF): 2013-06-01
• Degree grantor/type: 静岡大学
• Date Granted: 2013-09-20
• Date Granted (W3CDTF): 2013-09-20
• Dissertation Number: 甲第774号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第774号
• Text Language Code: jpn
• NDC: 549
• Target Audience: 一般
• Note (General): doctoral; 創造科学技術大学院; 甲第774号; application/pdf
• DOI: 10.14945/00007926; https://doi.org/10.14945/00007926
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/8952197; https://dl.ndl.go.jp/pid/8952197
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Available (W3CDTF): 2015-03-03
• Date Accepted (W3CDTF): 2015-02-03T05:25:05+09:00
• Date Created (W3CDTF): 2017-12-18
• Format (IMT): PDF; application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): https://doi.org/10.14945/00007926; http://hdl.handle.net/10297/7926
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

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2015-02-04 再収集

2015-02-04 再収集

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2015-03-01 再収集

2015-03-01 再収集