Studies on control of active species and design of gas molecules for etching of dielectric films in fluorocarbon and related-gas plasmas

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on control of active species and design of gas molecules for etching of dielectric films in fluorocarbon and related-gas plasmas
• Author/Editor: KONDO, Yusuke; 近藤, 祐介
• Author Heading: KONDO, Yusuke; 近藤, 祐介
• Publication Date: 2015-03-25
• Publication Date (W3CDTF): 2015-03-25
• Alternative Title: ガスデザインによるフルオロカーボンプラズマ中の活性種及び絶縁膜エッチング特性の制御
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 2015-03-25
• Date Granted (W3CDTF): 2015-03-25
• Dissertation Number: 甲第11041号
• Degree Type: 博士(工学)
• Conferring No. (Dissertation): 甲第11041号
• Text Language Code: eng
• Target Audience: 一般
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9425264; https://dl.ndl.go.jp/pid/9425264
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
• Date Accepted (W3CDTF): 2015-07-01T13:17:09+09:00
• Format (IMT): PDF; application/pdf
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Periodical Title (URI): http://hdl.handle.net/2237/22438; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/19877
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

2023-12-09 再収集

2023-12-09 再収集

2023-12-09 再収集