熱CVDプロセスにおける反応モデルの構築および熱物質移動解析

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Material Type: 博士論文
Title: 熱CVDプロセスにおける反応モデルの構築および熱物質移動解析
Author/Editor: 羽鳥, 祐耶
Publication Date: 2015
Publication Date (W3CDTF): 2015
Alternative Title: Construction of reaction model and heat and mass transfer analysis in thermal CVD process
Degree grantor/type: 山口大学
Date Granted: 2015-03-16
Date Granted (W3CDTF): 2015-03-16
Dissertation Number: 理工博甲第656号
Degree Type: 博士(工学)
Conferring No. (Dissertation): 理工博甲第656号
Note (General): 博士(工学)
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9425431
https://dl.ndl.go.jp/pid/9425431
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2015-07-01T13:17:09+09:00
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://www.lib.yamaguchi-u.ac.jp/yunoca/handle/DT12100656
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp