多層膜ミラーを用いた軟Ｘ線結像光学系の開発とEUV露光装置への応用

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多層膜ミラーを用いた軟Ｘ線結像光学系の開発とEUV露光装置への応用

Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9479231

Material type: 博士論文

Author: 村上, 勝彦

Publisher: 兵庫県立大学

Publication date: 2013-09-26

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 兵庫県立大学大学院,博士（工学）

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Note (General)：: 2013元資料の権利情報 : CC BY-NC-ND

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Digital

Material Type: 博士論文
Title: 多層膜ミラーを用いた軟Ｘ線結像光学系の開発とEUV露光装置への応用
Author/Editor: 村上, 勝彦
Publication, Distribution, etc.: 兵庫県立大学
Publication Date: 2013-09-26
Publication Date (W3CDTF): 2013-09-26
Degree grantor/type: 兵庫県立大学大学院
Date Granted: 2013-09-26
Date Granted (W3CDTF): 2013-09-26
Dissertation Number: 乙第42号
Degree Type: 博士（工学）
Conferring No. (Dissertation): 乙第42号
Text Language Code: jpn
Note (General): 2013
元資料の権利情報 : CC BY-NC-ND
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/9479231
https://dl.ndl.go.jp/pid/9479231
Collection: 障害者向け資料
Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
Acquisition Basis: 博士論文（自動収集）
Date Accepted (W3CDTF): 2015-08-01T14:40:15+09:00
Date Created (W3CDTF): 2013-12-25
Format (IMT): application/pdf
Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
Availability of remote photoduplication service: 可
Periodical Title (URI): http://id.nii.ac.jp/1214/00000021/
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション
https://dl.ndl.go.jp