薄膜工学

• Material Type: 図書
• ISBN: 978-4-621-30978-0
• Title: 薄膜工学
• Title Transcription: ハクマク コウガク
• Author/Editor: 日本学術振興会R025先進薄膜界面機能創成委員会 編集企画; 田畑仁, 吉田貞史, 近藤高志 編著
• Edition: 第4版
• Author Heading: 編者 ： 日本学術振興会 ニホン ガクジュツ シンコウカイ ( 00257279 )Authorities; 編者 ： 田畑, 仁, 表面化学 タバタ, ヒトシ, ヒョウメン カガク ( 001342600 )Authorities; 編者 ： 吉田, 貞史 ヨシダ, サダフミ ( 00200038 )Authorities; 編者 ： 近藤, 高志 コンドウ, タカシ ( 01233465 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 丸善出版 (出版)
• Publication Date: 2024.7
• Publication Date (W3CDTF): 2024
• Extent: 310p
• Size: 21cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Content Type: テキスト
• Media Type: 機器不用
• Carrier Type: 冊子
• Subject Heading: 薄膜 ハクマク ( 00562857 )Authorities
• NDC 10th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (Bibliography): 索引あり
• Price: 4200円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-R18
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 033594938; http://id.ndl.go.jp/bib/033594938
• National Bibliography No. (JPNO): 24009483
• TOHAN MARC No.: 34632168
• Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules 2018 Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 薄膜の作製・評価・性質を系統的にまとめた入門書。学部学生、大学院生、若手技術者に広く使用されてきた標準的解説書の改訂版。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)

Table of Contents

１　薄膜工学の基礎/１．１　薄膜の歴史/１．２　薄膜と工学/１．３　薄膜形成技術/１．４　薄膜の応用/２　薄膜作製法/２．１　真空蒸着・ＭＢＥ法/２．２　スパッタリング/２．３　化学気相成長/２．４　印刷法/３　薄膜評価法/３．１　膜厚・形状評価/３．２　結晶構造評価/３．３　組成・状態分析/３．４　力学的性質の評価/４　薄膜の機能と応用/４．１　半導体薄膜（シリコン系）/４．２　半導体薄膜（化合物）/４．３　半導体薄膜（ワイドバンドギャップ材料）/４．４　薄膜の光学的性質/４．５　誘電体薄膜/４．６　磁性薄膜/４．７　有機薄膜/４．８　ハロゲン化金属ペロブスカイト薄膜/４．９　２次元材料薄膜（グラフェン，MX2など）/４．１０　薄膜の化学的性質 /