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固体炭素源を用いた2源スパツタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長

Paper図書

井上, 尚三, 姫路工業大学2001-2002<Y151-H13650097>

National Diet Library

Author Heading井上, 尚三

スパッタリング法によって作製したa-Si[1-x]C[x]薄膜の構造に関する研究

PaperDigital博士論文

井上尚三 [著]<UT51-62-E382>

National Diet Library

Author Heading井上, 尚三

マイクロマテリアルシンポジウム講演論文集第4回

Paper図書

日本材料学会マイクロマテリアル部門委員会[2008]<M213-J66>

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マイクロマテリアルシンポジウム講演論文集第3回

Paper図書

日本材料学会マイクロマテリアル部門委員会[2006]<M213-H208>

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社会人が学ぶ生産プロセス技術

Paper図書

森脇俊道, 永井千秋編神戸市産業振興財団2009.3<NB51-J10>

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Journal of the Vacuum Society of Japan

Paper雑誌雑誌タイトル

日本真空協会2008-2017<Z16-474>

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日本金属学会誌

Paper雑誌雑誌タイトル

日本金属学会1937-<Z17-314>

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姫路工業大学研究報告 A

Paper雑誌雑誌タイトル

姫路工業大学編姫路工業大学1951-1989<Z14-42>

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Volumes of this title

材料

Paper雑誌雑誌タイトル

日本材料学会 [編]日本材料学会1963-<Z14-267>

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精密工学会誌

PaperRecording Media雑誌雑誌タイトル

会誌編集委員会編精密工学会1986-<Z16-466>

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日本経済研究センター会報

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

日本経済研究センター1965-2011<Z3-26>

Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan

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精密工学会誌論文集

Paper雑誌雑誌タイトル

会誌編集委員会編精密工学会2004-2006<Z74-D889>

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日本金属学会講演概要

PaperDigital雑誌雑誌タイトル

日本金属学会[1937]-2011<Z17-1206>

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スパッタリング法によって作製したa－Si1-xCx薄膜の構造に関する研究

Digital博士論文

井上, 尚三

Available onlineOther Libraries in Japan

Author Heading井上, 尚三

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