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ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究

ショットキー・オーミックコンタクト同時形成プロセスを適用した炭化珪素(SiC)ショットキーバリアダイオード内蔵MOSFETの研究
Digital博士論文障害者向け資料あり
清水, 悠佳2020
National Diet Library

ゲートスタック研究会 : 材料・プロセス・評価の物理 : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 : 第10回研究会 (AP ; 052205)

ゲートスタック研究会 : 材料・プロセス・評価の物理 : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 : 第10回研究会 (AP ; 052205)
Paper図書
応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編応用物理学会薄膜・表面物理分科会2005.1<ND97-H10>
National Diet Library

極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性 : 薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 : 第9回研究会 (AP ; 042202)

極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性 : 薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 : 第9回研究会 (AP ; 042202)
Paper図書
応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編応用物理学会薄膜・表面物理分科会2004.1<ND371-H112>
National Diet Library

電気学会研究会資料 EDD

電気学会研究会資料 EDD
Paper雑誌雑誌タイトル
電子デバイス研究会 [編]電気学会[19--]-<Z43-225>
National Diet Library
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電気学会研究会資料 SPC

電気学会研究会資料 SPC
Paper雑誌雑誌タイトル
半導体電力変換研究会 [編]電気学会[19--]-<Z43-243>
National Diet Library
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