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4族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成

4族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成
Paper図書
室田淳一, 東北大学 [著][室田淳一]2003-2005<Y151-H15206031>
National Diet Library

超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成

超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成
Paper図書
室田淳一, 東北大学 [著][室田淳一]2001-2003<Y151-H13355013>
National Diet Library

IV族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成

IV族半導体原子層積層ヘテロ人工結晶の創成
Paper図書
室田淳一研究代表者[室田淳一]2006.5
Other Libraries in Japan

超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成

超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成
Paper図書
室田淳一研究代表[室田淳一]2004.3
Other Libraries in Japan

高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発

高集積通信システム製作のためのSiGe系MOS-HBT技術の開発
Paper図書
室田淳一研究代表者[室田淳一]2002.3
Other Libraries in Japan

ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス

ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作するIV族半導体極微細デバイス
Paper図書
室田淳一研究代表者[室田淳一]1999.3
Other Libraries in Japan

Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究

Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究
Paper図書
室田淳一研究代表者[室田淳一]1998.3
Other Libraries in Japan

極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究

極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究
Paper図書
研究代表者 室田淳一[室田淳一]1995.3
Other Libraries in Japan

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