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低温プラズマ滅菌装置の開発
低温プラズマ滅菌装置の開発
Paper
図書
玉澤, かほる, 東北大学
2000-2001
<Y151-H12557159>
National Diet Library
Subject Heading
プラズマ 酸素ガス 滅菌
アツシング
高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フオトレジスト剥離技術
高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フオトレジスト剥離技術
Paper
図書
須川, 成利, 東北大学
2001-2002
<Y151-H13555084>
National Diet Library
Subject Heading
フオトレジスト剥離 気液混合 プラズマ
アツシング
大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究
大型電子デバイスプロセス用マイクロ波プラズマ源の開発に関する研究
Digital
博士論文
青木, 克明
2001-01-01
p.1-160
Available online
Other Libraries in Japan
Subject Heading
プラズマ エッチング
アッシング
半導体 液晶パネル
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