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平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
Paper
図書
永津, 雅章, 名古屋大学
1999-2000
<Y151-H11480106>
National Diet Library
Subject Heading
表面波プラズマ マイクロ波プラズマ プラズマCVD
アモルフアスカーボン膜
ダイヤモンド薄膜 電子エミツター 電子電界放出
低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
Paper
図書
下妻, 光夫, 北海道大学
1990-1992
<Y151-H02555056>
National Diet Library
Subject Heading
低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積
アモルフアスカーボン膜
ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセス RFプラズマCVD法
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