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パルスイオンビ-ムアブレ-シヨンを用いた超高硬度材料の作製

パルスイオンビ-ムアブレ-シヨンを用いた超高硬度材料の作製
Paper図書
八井, 浄, 長岡技術科学大学2000-2002<Y151-H12450280>
National Diet Library
  • Subject Heading超高硬度材料 薄膜化 2層タ-ゲツト 熱電特性 大強度パルス軽イオンビ-ム パルスイオンビ-ム蒸着法 アブレ-シヨンプラズマ 飛翔体加速

大強度イオンビームアブレーシヨン法による強誘電体薄膜の生成と成膜プロセスの解明

大強度イオンビームアブレーシヨン法による強誘電体薄膜の生成と成膜プロセスの解明
Paper図書
八井, 浄, 長岡技術科学大学1996-1997<Y151-H08455139>
National Diet Library
  • Subject Headingパルスイオンビーム蒸着法 強誘電体 薄膜生成 イオンビームアブレーシヨン プラズマ...

負イオンビーム材料プロセス技術

負イオンビーム材料プロセス技術
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1996-1997<Y151-H08044140>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオンビーム 材料プロセス技術 負イオンビーム蒸着 準安定物質 負イオン注入 無帯電イオン注入 無飛散粉体微粒...

多成分イオンビームの生成とその化合物半導体薄膜形成への応用

多成分イオンビームの生成とその化合物半導体薄膜形成への応用
Paper図書
真瀬, 寛, 茨城大学1987-1988<Y151-S62550219>
National Diet Library
  • Subject Heading多成分イオンビーム イオン源 半導体薄膜 イオンビーム蒸着 パラメータ制御 プラズマ源

負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
Paper図書
石川, 順三, 京都大学1986-1987<Y151-S61460065>
National Diet Library
  • Subject Heading負イオン イオンビーム蒸着 イオン注入 イオン源 イオン装置 膜形成 結晶性制御 電子...

エピタキシヤル成長させた超伝導材料の高分解能電子顕微鏡による構造解析とその物性

エピタキシヤル成長させた超伝導材料の高分解能電子顕微鏡による構造解析とその物性
Paper図書
熊尾, 章宏, 京都工芸繊維大学1986-1987<Y151-S61540233>
National Diet Library
  • Subject Heading超伝導材料の薄膜化 エピタキシヤル成長 スパツタリング蒸着法 イオンビーム蒸着法 非晶質構造 微結晶構造 電子顕微鏡

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