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イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発
Paper図書
桜井利夫, 東北大学1990-1991<Y151-H02555002>
National Diet Library
  • Subject Headingアトムプローブ 電界イオン顕微鏡 イオンミリング

Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head : ハイブリツト磁性体の微細化プロセスとトンネル再生磁気ヘツドの作製

Microfabrication Process for Hybrid Magnetic Material and Fabrication of Tunnel Magnetoresistive Read Head : ハイブリツト磁性体の微細化プロセスとトンネル再生磁気ヘツドの作製
Paper図書
宮崎, 照宣, 東北大学1999-2001<Y151-H11355001>
National Diet Library
  • Subject Headingスピントンネル磁気抵抗効果 トンネル接合 再生磁気ヘツドデバイス 微細加工 アルゴンイオンミリング 電子線リソグラフイー ラジカル酸化 絶縁障壁

単原子メモリーの基礎研究

単原子メモリーの基礎研究
Paper図書
浅野, 種正, 九州工業大学1991-1992<Y151-H03452083>
National Diet Library
  • Subject Headingトンネル効果 電界放射 イオンミリング 異方性エツチング スパツタリング 真空マイクロ素子

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