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半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究

半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究
Paper図書
大見, 忠弘, 東北大学1990-1991<Y151-H02402031>
National Diet Library
  • Subject Headingメタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術 超高速配線 エレクトロマイグレー...

直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄膜音響特性測定法に関する研究

直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄膜音響特性測定法に関する研究
Paper図書
中鉢, 憲賢, 東北大学1986-1987<Y151-S61460145>
National Diet Library
  • Subject Heading直線集束ビーム超音波顕微鏡 音響特性 漏洩弾性表面波 定量計測 音速 層状構造 速度分散 誘電体膜 酸化シリコン 窒化シリコン ZnO圧電薄膜 ZnO単結晶膜 イオン注入層

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