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形態制御セラミツクス材料の水溶液からのin situ作製法の開発

形態制御セラミツクス材料の水溶液からのin situ作製法の開発
Paper図書
吉村, 昌弘, 東京工業大学1995-1996<Y151-H07405028>
National Diet Library
  • Subject HeadingBaTiO3 CaTiO3 セラミツクス 薄膜 溶液プロセス カーボン膜 コーテイング in situ作製

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究
Paper図書
永津, 雅章, 名古屋大学1999-2000<Y151-H11480106>
National Diet Library
  • Subject Heading表面波プラズマ マイクロ波プラズマ プラズマCVD アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 電子エミツター 電子電界放出

超硬質膜のマイクロトライボロジーの研究

超硬質膜のマイクロトライボロジーの研究
Paper図書
三宅, 正二郎, 日本工業大学1992-1993<Y151-H04650072>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロトライボロジー ダイヤモンドライクカーボン膜 ダイヤモンド膜 イオン注入 フツ素処理 走査型プローブ顕微...

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
Paper図書
下妻, 光夫, 北海道大学1990-1992<Y151-H02555056>
National Diet Library
  • Subject Heading低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積 アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセス RFプラズマCVD法

硬度とは何か?(新素材の硬度評価)

硬度とは何か?(新素材の硬度評価)
Paper図書
田中, 紘一, 長岡技術科学大学1988-1989<Y151-S63460201>
National Diet Library
  • Subject Heading弾塑性硬度 転位パンチング セラミツクス ナノ硬度計 カーボン膜 フエライト SEMトポグラフイ 走査トンネル顕微鏡

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