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機能性IV族半導体超構造の結晶成長と高機能集積回路への応用に関する研究

機能性IV族半導体超構造の結晶成長と高機能集積回路への応用に関する研究
Paper図書
白木, 靖寛, 東京大学1997-1998<Y151-H09355001>
National Diet Library
  • Subject Heading量子細線 量子ドツト Si (311) 面 ガスソース分子線エピタキシー Stranski-Krastanow成長様式 選択成長

電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
Paper図書
安田, 幸夫, 名古屋大学1996-1998<Y151-H08455019>
National Diet Library
  • Subject Heading高分解能電子エネルギー損失分光法 化学気相成長 表面吸着水素 表面反応メカニズム ガスソース分子線エピタキシー Si1-xGexエピタキシヤル成長 反射高速電子線回折 表...

紫外光励起を利用したシリコン基板上へのエピタキシヤル絶縁膜形成の基礎研究

紫外光励起を利用したシリコン基板上へのエピタキシヤル絶縁膜形成の基礎研究
Paper図書
中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学1986-1988<Y151-S61460124>
National Diet Library
  • Subject HeadingエピタキシヤルAl2O3膜 ガスソース分子線エピタキシー 紫外光励起 シリコン基板 X線光電子分光法

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