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シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究
シリコン表面のウルトラクリーン洗浄・昇温過程における反応機構光制御の研究
Paper
図書
森田瑞穂, 大阪大学 [著]
[森田瑞穂]
2001-2004
<Y151-H13555007>
National Diet Library
Subject Heading
シリコン表面反応
制御 / ウルトラクリーン洗浄 / 光照射効果
偏極水素原子ビームの発生とスピン律速
シリコン表面反応
偏極水素原子ビームの発生とスピン律速シリコン表面反応
Paper
図書
並木, 章, 九州工業大学
1997-1999
<Y151-H09450020>
National Diet Library
Subject Heading
スピン偏極 水素
シリコン表面反応
六重極電磁石
超音速分子線、ラジカル原子線を用いたシリコン表面プロセスの新方式
超音速分子線、ラジカル原子線を用いたシリコン表面プロセスの新方式
Paper
図書
並木, 章, 九州工業大学
1996-1997
<Y151-H08555008>
National Diet Library
Subject Heading
超音速分子線
シリコン表面反応
水素原子線 水素引き抜き反応
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