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シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成

シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成
Paper図書
坂上, 弘之, 広島大学1996-1997<Y151-H08650034>
National Diet Library
  • Subject Heading水素終端シリコン表面 ステツプ/テラス構造 平坦化処理 Al微細構造 DMAlH 選択反応

水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究

水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究
Paper図書
高萩, 隆行, 広島大学1996-1997<Y151-H08455021>
National Diet Library
  • Subject Heading平坦化処理 ステツプ/テラス構造 自己組織化 UHV-STM 水素終端シリコン表面 微傾斜研...

原子層ステップを利用した自己形成単電子ディジタル回路の試作

原子層ステップを利用した自己形成単電子ディジタル回路の試作
Paper図書
菅野卓雄, 東洋大学1995-1997<Y151-H07555112>
National Diet Library
  • Subject Heading微小傾角基板 自己形成化現象 鱗片状ステツプ/テラス構造 異方性エツチング 走査型トンネル顕微鏡 原子間力顕微鏡 単...

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