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Paper図書

近藤博基, 安田幸夫, 名古屋大学 [著][近藤博基]2001-2004<Y151-H13305005>

National Diet Library

Digital文書・図像類

近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也2005-04

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Summary, etc....のリークスポットは、酸化膜中のストレス誘起欠陥にトラップされた正孔に起因する......C- AFM観察を繰り返すと、ストレス誘起欠陥での正孔の充放電を示唆するリーク電流の増減が見られたが、リー...
Subject Heading...縁膜ストレス誘起リーク電流ストレス誘起欠陥極薄シリコン酸化膜絶縁破壊走査トンネル分光走査プロー...

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