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高性能微細構造冷陰極電子源の研究

高性能微細構造冷陰極電子源の研究
Paper図書
木下, 治久, 静岡大学2001-2002<Y151-H13650375>
National Diet Library
  • Subject Headingダイヤモンド状炭素膜 マグネトロンプラズマ ス-パ-マグネトロンプラズマ プラズマCVD フイ-ルドエミツタ

半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD

半導体デバイスプロセス用途・導電性ダイヤモンド状炭素膜のプラズマCVD
Paper図書
木下, 治久, 静岡大学1997-1999<Y151-H09650382>
National Diet Library
  • Subject Headingダイヤモンド状炭素膜 マグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ プラズマCVD フイールドエミツタ

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エツチング

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エツチング
Paper図書
木下, 治久, 静岡大学1991-1992<Y151-H03805025>
National Diet Library
  • Subject Headingマグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ 半導体プロセス プラズマエツチング 低温エツチング クオー...

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