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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading電子照射 / ナノファブリケーション / 透過電子顕微鏡 / シリコン / 電子励起 / ナノ触...
Paper図書
National Diet Library
- Subject Headingイオンマイクロプローブ 集束イオンビーム TOF-SIMS ナノフアブリケーシヨン ナノメートル3次元分析 電界放射電子源 プロセス誘起欠陥 ...
Digital文書・図像類
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- Subject Headingナノファブリケーション技術 炭化水素膜 電子ビーム ......電子ビーム誘起効果 選択成長 ナノファブリケーション 有機薄膜 成長核 ステンシルマスク 紫外線ナノ秒パルスレー...
- Note (General)...集積電子デバイス実現のためにはナノファブリケーション技術が必要である。本研究では、......誘起効果を用いた選択成長によるナノファブリケーション」研究成果報告書 課題番号15651049(KAKEN:科学...