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自己クローニング現象を発現するバイアススパッタの詳細なメカニズムの解明

自己クローニング現象を発現するバイアススパッタの詳細なメカニズムの解明
Paper図書
花泉修, 群馬大学 [著][花泉修]2002-2004<Y151-H14205054>
National Diet Library
  • Subject Heading自己クローニング / バイアススパッタ / フォトニック結晶 / Siナノクリスタル / 青色発光...

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
Paper図書
堀池靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05555089>
National Diet Library
  • Subject HeadingデジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ バイアススパツタ

超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究

超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究
Paper図書
大見, 忠弘, 東北大学1985-1986<Y151-S60460117>
National Diet Library
  • Subject Heading超高速LSI 純金属配線 バイアススパツタ アルミニウム薄膜 銅薄膜

真空管IC用p-n接合トンネルエミツタに関する研究

真空管IC用p-n接合トンネルエミツタに関する研究
Paper図書
宇佐美, 興一, 電気通信大学1989-1991<Y151-H01550305>
National Diet Library
  • Subject Heading真空管IC 微小真空管 冷陰極 トンネルエミツタ トンネル効果 電子放出 半導体薄膜 バイアススパツタリング

RF-DC結合型バイアススパッタ装置

RF-DC結合型バイアススパッタ装置
Paper図書
柴田直, 東北大学1987-1988<Y151-S62850050>
National Diet Library
  • Subject Headingバイアススパツタ 低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタ...

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