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電子ビーム直接描画とビアマスク可変論理設計技術を用いた電子印鑑LSIの研究

電子ビーム直接描画とビアマスク可変論理設計技術を用いた電子印鑑LSIの研究
Paper図書
藤野毅, 立命館大学 [著][藤野毅]2006-2007<Y151-H18560355>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体超微細化 / 先端機能デバイス / 電子ビーム描画 / プログラマブルロジック / 暗号・認証

多モード干渉(MMI)光導波路カプラを用いたモード多重素子の試作

多モード干渉(MMI)光導波路カプラを用いたモード多重素子の試作
Paper図書
堤喜代司, 京都工芸繊維大学 [著][堤喜代司]2004-2006<Y151-H16560298>
National Diet Library
  • Subject Heading光導波路 / 多モード干渉導波路カプラ / 導波モードの多重 / 電子ビーム描画 / ステージ移動による描画 / インチワームモータ

レーザーケミカル反応による硬質炭化ホウ素から成る傾斜機能表面の創成

レーザーケミカル反応による硬質炭化ホウ素から成る傾斜機能表面の創成
Paper図書
中本, 剛, 名古屋大学1997-1998<Y151-H09650135>
National Diet Library
  • Subject Heading炭化ホウ素 YAGレーザー レーザー焼結 X線回析 成膜 膜硬度 造形 ビーム描画

光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作
Paper図書
春名, 正光, 大阪大学1993-1994<Y151-H05555014>
National Diet Library
  • Subject Heading集積光学 レーザビーム描画装置 光デバイス

MnBi系単結晶および人工格子のMBE成長と非線形磁気光学効果による評価

MnBi系単結晶および人工格子のMBE成長と非線形磁気光学効果による評価
Paper図書
佐藤, 勝昭, 東京農工大学1998-2000<Y151-H10450004>
National Diet Library
  • Subject HeadingMnBi MnAs MBE成長 緩衝層 磁気光学効果 電子ビーム描画 集束イオンビーム加工 非線形磁気光学効果

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造
Paper図書
山口, 勝美, 名古屋大学1994-1995<Y151-H06452159>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ部品 紫外線感光性樹脂 集束レーザビーム 高アスペクト比 3次元形状 ビーム描画 光の吸収

電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究

電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究
Paper図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学1991-1992<Y151-H03452155>
National Diet Library
  • Subject HeadingSi選択エピタキシヤル成長 電子ビーム照射 SOI構造 ガスソースMBE Si/Al2O3/Si構造 電子ビーム描画法 エピタキシヤルAl2O3膜

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