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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading紫外光源 真空紫外光源 エキシマ フラツシユランプ パルス放電 マイクロ波放電
Digital文書・図像類
Other Libraries in Japan
- Subject Heading多結晶シリコン 爆発的結晶化 フラッシュランプアニール 太陽電池
- Note (General)本研究では、電子線蒸着非晶質シリコン膜にフラッシュランプアニールを行う際に発現する爆発的結晶化により形成される多結晶...
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- Subject Heading瞬間熱処理 多結晶シリコン 太陽電池 結晶化 フラッシュランプアニール
- Note (General)...を、ミリ秒台の瞬間熱処理であるフラッシュランプアニール(FLA)により結晶化する太陽電池用多結晶Si膜形成...
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- Subject Heading超精密加工,加工変質層,単結晶シリコン,フラッシュランプ,レーザ
- Note (General)type:text 超短パルス高出力フラッシュランプを単結晶シリコン機械加工面に照射し、加工変質層の修復を試みた...
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National Diet Library
- Subject Heading... フォトダイオードアレイ / フラッシュランプ / マルチチャンネル測光 / マルチチャンネル測光システム...