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National Diet Library
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- Subject Heading低エネルギー電子 プラズマプロセス 高周波放電 室温プラズマ ホロー陰極 電子温度制御 プラズマ化学 反応性プラズマ
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- Subject Headingイオン源 ダブルホロー陰極 高融点金属 新しいスパツタモード 金属イオン生成比 大電流...