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- Subject Headingマイクロセンサ / 触覚センサ / マイクロアクチュエータ / マイクロコイル
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- Subject Headingマイクロマシニング / フォトニック結晶 / マイクロアクチュエータ / フィルタ / 光スイッチ / シリコン
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- Subject Headingアクチュエータ / 超音波モータ / 圧電 / 弾性表面波 / MEMS / マイクロアクチュエータ / 超音波 / レイリー波
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- Subject Headingマイクロアクチユエータ 表面張力 マランゴニ効果 マイクロポンプ
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- Subject HeadingMEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス / マイクロアクチュエータ / 物性 / アークプラズマ
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- Subject Heading超音波 / 超音波モータ / 超音波アクチュエータ / 圧電アクチュエータ / 多自由度 / 圧電素子 / マイクロアクチュエータ / アレイ
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- Subject HeadingTi-Ni 形状記憶合金 薄膜 マイクロアクチユエータ
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- Subject Headingプローブ技術 / プローブアレイ / マイクロアクチュエータ / 表面マイクロマシニング / ナノメートル加工
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- Subject Headingマイクロマシン / マイクロアクチュエータ / 磁力 / ひれ / 胃腸 / 腫瘍 / 検査 / ドラ...
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- Subject Headingマイクロポンプ 沸騰伝播現象 パルス加熱沸騰 気液相変化利用マイクロアクチユエ-タ
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- Subject HeadingTi-Ni / 形状記憶合金 / マイクロアクチュエータ / スパッタ薄膜 / マルテンサイト変態 / Ni-Ti ...
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- Subject Headingマイクロアクチュエータ / ハードディスクドライブ / セルフセンシング / 2ス...
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- Subject Heading光通信 マイクロマシン 光マトリツクススイツチ 異方性エツチング マイクロアクチユエータ
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- Subject Heading3次元マイクロファブリケーション / 微小粒子 / マイクロアレイ / 粒子接合 / 通電焼結 / 微小構造体 / マイクロアクチュエーター
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- Subject Headingマイクロアクチユエータ デイスプレイ 反射型 フアヴリペロー干渉計 静電気力
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- Subject Headingマイクロアクチユエータ 薄膜磁石 磁気繊毛 陽極酸化法
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- Subject Heading形状記憶合金 マルテンサイト変態 マルテンサイト変態誘起応力 透過電子顕微鏡 マイクロアクチユエ-タ- MEMS