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超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究

超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
Paper図書
岩崎, 裕, 大阪大学1992-1994<Y151-H04452092>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン RCA洗浄 エツチング フローセル マイクロラフネス STM AFM フラクタル

水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造

水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造
Paper図書
広瀬, 全孝, 広島大学1992-1993<Y151-H04452177>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン表面 表面マイクロラフネス 水素終端表面 原子ステツプ構造 原子層酸化 SiO2/Si...

X-ray Structures of Heteroepitaxial Growths ヘテロエピタキシヤル成長のX線的構造

X-ray Structures of Heteroepitaxial Growths ヘテロエピタキシヤル成長のX線的構造
Paper図書
橋爪, 弘雄, 東京工業大学1992-1993<Y151-H03402052>
National Diet Library
  • Subject HeadingCaSrF2エピタキシヤル結晶 YBCOアナログ超伝導薄膜 As吸着シリコン表面 マイクロラフネス X線回折法 シンクロトロン放射 表面/界面構造

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