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複合金属酸化物透明導電性膜の物性と特性制御に関する研究

複合金属酸化物透明導電性膜の物性と特性制御に関する研究
Paper図書
南, 内嗣, 金沢工業大学1999-2000<Y151-H11650033>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 多元系複合酸化物 マグネトロンスパツタリング

高温耐性に優れた複合金属酸化物透明導電性薄膜の研究

高温耐性に優れた複合金属酸化物透明導電性薄膜の研究
Paper図書
南, 内嗣, 金沢工業大学1997-1998<Y151-H09650035>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 複合金属酸化物 マグネトロンスパツタリング 透明伝導性

アモルファスSi中のErの発光に対するダングリングボンドの役割

アモルファスSi中のErの発光に対するダングリングボンドの役割
Paper図書
久米田稔, 金沢大学 [著][久米田稔]2004-2006<Y151-H16560005>
National Diet Library
  • Subject Heading水素化アモルファスSi / Er添加 / マグネトロンスパッタリング / フォトルミネッセンス / シュタルク準位 / Siダン...

複合酸化物系透明導電膜を用いた新機能性薄膜の開発

複合酸化物系透明導電膜を用いた新機能性薄膜の開発
Paper図書
福田, 一郎, 金沢工業大学1996-1997<Y151-H08555079>
National Diet Library
  • Subject Heading複合酸化物 透明導電膜 スパツタ薄膜 マグネトロンスパツタリング 透明電極 機能性薄膜

反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング

反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング
Paper図書
森, 敏彦, 名古屋大学1993-1994<Y151-H05555043>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性スパツタリング 高周波スパツタリング マグネトロンスパツタリング 機能性コーテイング 傾斜機能膜 TiN膜 W膜

対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発

対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発
Paper図書
富永, 喜久雄, 徳島大学1989-1990<Y151-H01550249>
National Diet Library
  • Subject Heading対向ターゲツト式スパツタリング法 プレーナマグネトロンスパツタリング 酸化亜鉛薄膜 窒化アルミニウム薄膜

ケージ状ナノクラスター複合薄膜の創製とその熱電変換特性の解明

ケージ状ナノクラスター複合薄膜の創製とその熱電変換特性の解明
Digital文書・図像類
中嶋, 敦2019科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingナノクラスター,超原子,薄膜,マグネトロンスパッタリング,表面光電子分光,顕微光電子分光,金属内包シリコン,熱電変換...
  • Note (General)...状ナノクラスターM＠Si16をマグネトロンスパッタリング法によって気相合成し、その蒸着によってナノクラスター薄膜を創...

機能ナノクラスター単層膜の複合界面制御とその電子物性の解明

機能ナノクラスター単層膜の複合界面制御とその電子物性の解明
Digital文書・図像類
中嶋, 敦, 角山, 寛規, 渋田, 昌弘2018科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingナノクラスター,マグネトロンスパッタリング,表面光電子分光,マイクロ混合器,金属内包シリコン,超原子,...

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