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ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究

ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
Paper図書
中山, 登史男, 山口東京理科大学1997-1998<Y151-H09650798>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロスパツタリング エツチング 薄膜形成 ミリ加工 ミクロン加工

空気静圧主軸搭載の工作機械による高速・サブミクロン・エンドミル加工に関する研究

空気静圧主軸搭載の工作機械による高速・サブミクロン・エンドミル加工に関する研究
Paper図書
岩部, 洋育, 新潟大学1997-1998<Y151-H09650132>
National Diet Library
  • Subject Headingエンドミル 高速加工 サブミクロン加工 空気静圧主軸 繰返し段加工 軸方向送り加工 仕上げ面粗さ ...

レーザープラズマX線露光装置の開発

レーザープラズマX線露光装置の開発
Paper図書
中井, 貞雄, 大阪大学1986-1987<Y151-S61850071>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザープラズマ 高出力レーザー レーザー光の波長変換 非線型光学結晶 高輝度点X線源 X線リソグラフイー サブミクロン加工

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