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プラズマー電極系の輸送現象の研究

プラズマー電極系の輸送現象の研究
Paper図書
牛尾, 誠夫, 大阪大学1994-1996<Y151-H06402052>
National Diet Library
  • Subject Headingアーク 電極 陽極 境界層 ラングミユア・プローブ レーザ散乱 重粒子温度 陽極降下

気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
Paper図書
白谷正治, 九州大学1994-1995<Y151-H06555023>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザ散乱 2次元計測 その場計測 偏光 微粒子 プラズマCVD プラ...

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明
Paper図書
渡辺, 征夫, 九州大学1991-1992<Y151-H03452094>
National Diet Library
  • Subject Headingシランプラズマ 微粒子 パウダー パーテイクル アモルフアスシリコン レーザ散乱法 微粒子プラズマ 高周波放電

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