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NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
Paper図書
田坂, 明政, 同志社大学1999-2000<Y151-H11650864>
National Diet Library
  • Subject Heading三フツ化窒素 炭化ケイ素 反応性イオンエツチング 平滑化 異方性エツチン...

半導体製造工程から排出される三フツ化窒素の化学的固定による無害化システムの確立

半導体製造工程から排出される三フツ化窒素の化学的固定による無害化システムの確立
Paper図書
山本, 秀樹, 関西大学1999-2000<Y151-H11650788>
National Diet Library
  • Subject Heading特殊ガス 無害化 半導体製造 三フツ化窒素 塩化カルシウム 化学反応 フツ化カルシウム 温室効果

活性フツ素を利用した気相法による炭素材料の合成

活性フツ素を利用した気相法による炭素材料の合成
Paper図書
小久見, 善八, 京都大学1995-1996<Y151-H07455426>
National Diet Library
  • Subject Heading活性フツ素 気相法 プラズマ 炭素 薄膜 三フツ化窒素 四重極質量分析計 ベンゼン

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