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- Subject Heading静圧空気軸受 / 真空度 / 位置決め機構 / 表面絞り
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- Subject Heading静圧空気軸受 高真空 位置決め機構 非接触案内 シール性能
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- Subject Heading位置決め機構 / 追従制御 / サーボ帯域 / オブザーバ / ディジタ...
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- Subject Heading超音波モータ ロボツト 位置決め機構 アクチユエータ
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- Subject Heading圧電素子 アクチユエータ 高精度位置決め機構 オープンループ制御 ヒステリシス非線形性 多項式近似 線形...
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- Subject Heading過渡振動 最適制御理論 可〓機構系 可〓梁 アクセス制御 位置決め機構 フイードフオワード制御 フイードバツク制御
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