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歪み系Siを用いたキヤリアの高移動度化に関する基礎研究

歪み系Siを用いたキヤリアの高移動度化に関する基礎研究
Paper図書
山田, 明, 東京工業大学1999-2000<Y151-H11650010>
National Diet Library
  • Subject HeadingSi ホツトワイヤーセル 低温エピタキシヤル成長 IV族混晶半導体 歪み

光CVD法によるSiの低温エピタキシャル成長法の開発

光CVD法によるSiの低温エピタキシャル成長法の開発
Paper図書
小長井誠, 東京工業大学1987-1988<Y151-S62850053>
National Diet Library
  • Subject Heading光CVD法 低温エピタキシヤル成長 歪超格子 Si SiGe 超高濃度ドーピング

RF-DC結合型バイアススパッタ装置

RF-DC結合型バイアススパッタ装置
Paper図書
柴田直, 東北大学1987-1988<Y151-S62850050>
National Diet Library
  • Subject Headingバイアススパツタ 低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタキシヤル成長 エピタキシヤルシリコン スパツタ成膜

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