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散乱光と蛍光とを同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微小欠陥の検出法

散乱光と蛍光とを同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微小欠陥の検出法
Paper図書
小川, 智哉, 学習院大学1998-1999<Y151-H10450011>
National Diet Library
  • Subject Heading光散乱トモグラフイー 半導体微小欠陥 評価法

赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価
Paper図書
小川, 智哉, 学習院大学1992-1994<Y151-H04402018>
National Diet Library
  • Subject Heading光散乱 トモグラフイー 光散乱トモグラフイー シリコン単結晶 砒化カリユウム単結晶 セレン化亜鉛単結晶 ...

赤外線散乱トモグラフイーによる化合物半導体の成長履歴

赤外線散乱トモグラフイーによる化合物半導体の成長履歴
Paper図書
小川, 智哉, 学習院大学1986-1987<Y151-S61460238>
National Diet Library
  • Subject Heading赤外線散乱 化合物半導体 格子欠陥 結晶成長 光散乱トモグラフイー

赤外線共鳴散乱トモグラフイー装置

赤外線共鳴散乱トモグラフイー装置
Paper図書
小川, 智哉, 学習院大学1986-1988<Y151-S61850006>
National Diet Library
  • Subject Heading赤外線散乱 共鳴散乱 化合物半導体 格子欠陥 結晶成長 光散乱トモグラフイー

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