Search results 3
Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading制限反応スパツタ ZrO_2 高誘電率 金属モ-ドスパツタ ゲ-ト絶...
Digital文書・図像類
Other Libraries in Japan
- Subject Headingスパッタリング 薄膜 メタリックモード High-K材料 制限反応 ZrO_2 MOSFET Sputtering Thin ...
- Note (General)...質ZrO_2膜を堆積するための制限反応スパッタ法を開発した。まずZr......:2001-2002 出典:「制限反応スパッタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究」研究成果報告...
Digital文書・図像類
Other Libraries in Japan
- Subject Headingスパッタリング 薄膜 金属モード 高誘電率材料 制限反応 ZrO_2 MOSFET フラッシュ蒸着法 エピキシャル成...
- Note (General)金沢大学工学部 制限反応スパッタリングと名付けた新しいスパッタリング法を研究開発した...
Reached to the end of result.