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新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
Paper図書
辻輝生, 九州工業大学 [著][辻輝生]2002-2004<Y151-H14350122>
National Diet Library
  • Subject Heading予測制御 / 同期誤差 / 加速度フィードバック / 2慣性系 / 剛体系 / 共振 / フィルタ / 位置...

航空機による微小重力実験:6自由度能動制振システム機能・性能評価試験

航空機による微小重力実験:6自由度能動制振システム機能・性能評価試験
Digital文書・図像類
清水, 盛生, 木村, 秀夫, 楠瀬, 智宏, 大山, 勝, 石倉, 精三, 谷田, 宏次, 星, 聖子, 大久保, 孝一, Shimizu, Morio, Kimura, Hideo, Kusunose, Tomohiro, Oyama, Masaru, Ishikura, Seizo, Tanida, Koji, Hoshi, Seiko, Okubo, Koichi宇宙開発事業団1997-01-31宇宙開発事業団技術報告 = NASDA Technical Memorandump.9-18
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading...スペンション 浮遊 振動遮断 加速度フィードバック 相対変異フィードバック MU 300 aircraft p...
  • Note (General)...)振動遮断性能評価および(3)加速度フィードバック/相対変位フィードバック制御性......きた。制御性能は理論計算通り、加速度フィードバック制御の方が優れた振動遮断効果を示した。 In order t...

航空機による微小重力実験:6自由度能動制振システム機能・性能評価試験　その3

航空機による微小重力実験:6自由度能動制振システム機能・性能評価試験　その3
Digital文書・図像類
依田, 真一, 石井, 誠一, 小西, 貴明, 星, 聖子, 鈴木, 寿幸, 大久保, 孝一, 桑原, 啓一, Yoda, Shinichi, Ishii, Seiichi, Konishi, Takaharu, Hoshi, Seiko, Suzuki, Yasuyuki, Okubo, Koichi, Kuwabara, Keiichi宇宙開発事業団1997-01-31宇宙開発事業団技術報告 = NASDA Technical Memorandump.1-10
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading... 相対変位フィードバック制御 加速度フィードバック制御 非線形懸架ばね MU 300 aircraft par...
  • Note (General)...る相対変位フィードバック制御と加速度フィードバック制御もあわせて試験した。実験結果から、航空機による微小重力中...

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