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真空紫外レ-ザ分光法によるプロセスプラズマ中の
原子状ラジカル
の気相・表面反応診断
真空紫外レ-ザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断
Paper
図書
橘, 邦英, 京都大学
2001-2002
<Y151-H13480126>
National Diet Library
Subject Heading
原子状ラジカル
真空紫外レ-ザ 吸収分光法 プロセスプラズマ 誘導結合プラ...
交差ビーム蛍光イメージング法によるフリーラジカルと固体表面の相互作用の研究
交差ビーム蛍光イメージング法によるフリーラジカルと固体表面の相互作用の研究
Paper
図書
橘, 邦英, 京都工芸繊維大学
1991-1992
<Y151-H03452079>
National Diet Library
Subject Heading
表面反応計測 ラジカルビーム レーザー誘起蛍光法 シラン系ラジカル
原子状ラジカル
水素化非晶質シリコン シリコン酸化反応速度
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