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理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究
理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究
Paper
図書
渡邉聡, 東京大学 [著]
[渡邉聡]
2001-2003
<Y151-H13450020>
National Diet Library
Subject Heading
立方晶窒化ホウ素 / 薄膜堆積過程 /
古典分子動力学法
/ 密度汎関数法 / 高速入射粒子
ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価
ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価
Paper
図書
川添良幸, 東北大学
1999-2000
<Y151-H11650714>
National Diet Library
Subject Heading
モンテカルロ直接法 クラスター堆積過程 希薄流シミユレーシヨン
古典分子動力学法
ボルツマン方程式 最適作製条件 材料設計 ハイブリツドモデ...
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