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多結晶シリコン膜による発光素子の開発と大面積デイスプレイへの応用

多結晶シリコン膜による発光素子の開発と大面積デイスプレイへの応用
Paper図書
越田, 信義, 東京農工大学1996-1997<Y151-H08555083>
National Diet Library
  • Subject Heading多結晶シリコン膜 陽極酸化 量子閉じ込め効果 注入エレクトロルミネセンス 発...

低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究

低エネルギー水素による半導体表面パツシベーシヨンの研究
Paper図書
斎藤, 洋司, 成蹊大学1993-1994<Y151-H05650310>
National Diet Library
  • Subject Heading熱励起 リモートプラズマ 原子状水素 シリコン表面 吸着フツ素 水素パツシベーシヨン 多結晶シリコン膜

磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究

磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究
Paper図書
宮里達郎, 九州工業大学1988-1990<Y151-S63550238>
National Diet Library
  • Subject Heading水素プラズマスパツタリング法 超微粒子シリコン結晶 多結晶シリコン膜 化合物半導体膜 低温結晶成長 磁界制御 歪み格子

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