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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速
大面積成長
とメモリデバイスへの実用化研究
MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究
Paper
図書
塩崎, 忠, 京都大学
1994-1995
<Y151-H06555094>
National Diet Library
Subject Heading
MOCVD法 PZT PLZT
大面積成長
薄膜 均一性 メモリデバイス 疲労
MOCVD法による強誘電体薄膜の高速
大面積成長
とメモリ等のデバイスへの実用化研究
MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究
Paper
図書
塩嵜, 忠, 京都大学
1997-2000
<Y151-H09555099>
National Diet Library
Subject Heading
強誘電体不揮発性RAM Pb (Zr, Ti) O3 高集積化、
大面積成長
分極反転疲労特性 リーク電流特性 熱刺激電流法 ドメインピ...
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